Atlas H30 臭氧發(fā)生器到貨通知
Atlas H30 臭氧發(fā)生器到貨10臺,近期將按照訂單順序發(fā)出,感謝支持和理解。
特點
ATLAS H30臭氧發(fā)生器是一款專為半導(dǎo)體和ALD(原子層沉積)應(yīng)用設(shè)計的高效臭氧發(fā)生器。其主要特點包括:
高臭氧產(chǎn)量:僅需4 SLPM氧氣即可產(chǎn)生30 g/h的臭氧,適合高濃度需求。
高臭氧濃度:臭氧濃度可達(dá)22 wt%(310 mg/L),滿足半導(dǎo)體和ALD實驗的高純度要求。
低流量氧氣需求:僅需4 SLPM氧氣,節(jié)省氣源成本。
耐壓范圍廣:標(biāo)準(zhǔn)耐壓15-35 PSI,可選高壓15-85 PSI,適應(yīng)多種實驗條件。
模塊化設(shè)計:支持臺式或機(jī)架安裝,可擴(kuò)展至5 kg/h以上。
緊湊尺寸:體積小巧(35.5*38*17.8 cm),適合實驗室空間有限的環(huán)境。
風(fēng)冷設(shè)計:無需冷卻水,在高溫環(huán)境(+35℃)下也能穩(wěn)定運行。
遠(yuǎn)程控制:支持遠(yuǎn)程臭氧輸出控制,操作便捷。